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 自動スピンコーター




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写真の製品は実物とは異なる場合があります。
  装置名 : 自動スピンコーター
型  式 : TASC-3000
 
 icon.gif特 徴
     シンプルデザイン,コストパフォーマンス、少量生産用

 

icon.gif仕 様
   
試料サイズ Φ2,3,4インチ
試料固定 真空吸着
カップ径 Φ300mm
回転範囲 100-5000 rpm
回転精度 ±1rpm
回転数設定 液晶タッチパネル
レシピメモリー 10プログラム ×10 パターン
スピンドルモーター AC サーボモーター
回転表示 デジタル表示
電源  AC100V 7A 
ユーティリティー 電源、CDA.、N2、真空 
外形寸法  460W×590D×440H 
オプション 試料台、真空ポンプ、レジスト用フィルター

   
割れ易い化合物半導体や、小ロット生産に適する段取り替えが簡単に設定でき、ユーザーの希望に合わせてカスタムメイドが行なえます。

株式会社トービ TEL:0471-84-7255 or 080-4075-1975(高橋)
 〒270-1164 千葉県我孫子市つくし野4-6-1-102