洗浄システム / 自動スピン洗浄装置
写真の製品は実物とは異なる場合があります。
装置名 ： 自動スピン洗浄装置
型 式 ： TMSC-4000
特 徴
オプション内容を選んで頂くクリーンユニット搭載のカセットｔｏ
カセット式自動装置(写真はスクラブ洗浄+UV洗浄＋ホットプレート)
仕 様
ワークサイズ
Φ2ｲﾝﾁ〜Φ8インチ
搬 送
大気3軸クリーンロボット(標準)
クリーンユニット
ＨＥＰＡフィルター(標準)
ノズル
ブラシ、MSどちらかを選択、DIWリンス標準
回転数範囲
50〜5000rpm
回転時間
0.1〜999.9sec
回転精度
±1rpm
設定、表示
液晶タッチパネル
オプション
高圧ジェットノズル、UV,エキシマ、ホットプレート、各種薬液用フィルター、炭酸ガス、洗剤使用、溶剤使用、防爆仕様、ロボットチャック、コーターユニット、現像ユニット、エッチングユニット、剥離ユニット等
ﾕｰﾃｨﾘﾃｨｰ
電源、圧空、窒素、純水、排気、排水、廃液、他
※標準品から受注生産品まで様々な対応をいたします。
各種対応が容易に出来るよう設計されています。
株式会社トービ TEL:0471-84-7255 or 080-4075-1975（高橋）
〒270-1164 千葉県我孫子市つくし野4-6-1-102
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