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 洗浄システム / 自動スピン洗浄装置





  semi-cleaning1-img.jpg写真の製品は実物とは異なる場合があります。   装置名 : 自動スピン洗浄装置
型  式 : TMSC-4000
  icon.gif特 徴
    オプション内容を選んで頂くクリーンユニット搭載のカセットto
カセット式自動装置(写真はスクラブ洗浄+UV洗浄+ホットプレート)
  icon.gif仕 様
   
ワークサイズ Φ2インチ〜Φ8インチ
搬 送 大気3軸クリーンロボット(標準)
クリーンユニット HEPAフィルター(標準)
ノズル ブラシ、MSどちらかを選択、DIWリンス標準
回転数範囲 50〜5000rpm
回転時間 0.1〜999.9sec
回転精度 ±1rpm
設定、表示 液晶タッチパネル
オプション 高圧ジェットノズル、UV,エキシマ、ホットプレート、各種薬液用フィルター、炭酸ガス、洗剤使用、溶剤使用、防爆仕様、ロボットチャック、コーターユニット、現像ユニット、エッチングユニット、剥離ユニット等
ユーティリティー 電源、圧空、窒素、純水、排気、排水、廃液、他
※標準品から受注生産品まで様々な対応をいたします。
 各種対応が容易に出来るよう設計されています。
     

株式会社トービ TEL:0471-84-7255 or 080-4075-1975(高橋)
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