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 マスクアライナー(EMA-400)/マスクアライナー





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装置名 : マスクアライナー
型  式 : EMA-400
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icon.gif標 準 仕 様




 
マスクサイズ □5インチ
ウエハサイズ φ4インチ
露光照明 250W超高圧水銀灯
光学方式    インテグレータレンズ方式
照度ムラ    ±5%以下
照度      20mW/cm2(405nm)
有効露光範囲  φ100mm
露光量コントロール : デジタルタイマによるロータリーソレノイド駆動
露光モード ソフトコンタクト(オプション:ハードコンタクト)
解像度 3μm(ハードコンタクト:2μm)
アライメントスコープ 双対物顕微鏡
10倍対物レンズ 2個(N.A.=0.15,W.D.=30mm)
対物間隔    15〜75mm
総合倍率    100倍
ウェハステージ XYステージストローク ±5mm
回転ストローク  ±5°
Z軸ストローク 0〜4mm 
アライメント方式 ウェハステージ移動によるマニュアルアライメント
アライメント精度 ±3μm
設置サイズ 735(W)×490(D)×605(H)
設置重量 約90kg
ユーティリティ 電源 AC100V/15A 50/60Hz
真空(圧力) 21.3kPa(大気より80kPa) 
 

株式会社トービ TEL:0471-84-7255 or 080-4075-1975(高橋)
 〒270-1164 千葉県我孫子市つくし野4-6-1-102