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 多目的処理装置/スピンエッチャー





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写真の製品は実物とは異なる場合があります。
  装置名 : スピンエッチャー
型  式 : TMS-410E
 
icon.gif特 徴
    温度管理、廃液選択など様々な機能を付加可能(写真はテフロン+PVCボディー)
 
icon.gif仕 様
   
ワークサイズ Φ2インチ〜Φ8インチ
エッチング液 酸、アルカリタイプ
エッチング方式 スピンエッチング方式
スピンモーター ACサーボモーター (400W)
回転数範囲 50〜3000rpm
回転数設定 液晶タッチパネル
回転時間設定 0.1〜999.9sec 
ノズル 3系統(エッチャント、DIW、N2)標準
ノズルアーム 固定式(可動タイプはオプション)
オプション 廃液選択2〜4液、薬液用ノズル及びフィルター、温度管理(加温、冷却)等
電源 AC100v or200v 50/60Hz ±10%以内
CDA 0.5MPa. 0.5ℓ/min以上
DIW. 0.2MPa. 1ℓ/min以上
 
※標準品から受注生産品まで様々な対応をいたします。
   

株式会社トービ TEL:0471-84-7255 or 080-4075-1975(高橋)
 〒270-1164 千葉県我孫子市つくし野4-6-1-102