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 フォトリソ用小型現象装置





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写真の製品は実物とは異なる場合があります。
  装置名 : フォトリソ用小型現象装置
型  式 : AD-1200
 
icon.gif特 徴
    高性能・低価格・コンパクト卓上タイプ
ワークサイズΦ1"〜Φ6"
液晶タッチパネルにてプログラム入力簡単操作
薬液圧送ポンプ2系統を内蔵
   
     
     
























icon.gif仕 様




 
処理枚数 150Φ又は100Sq基盤(最大)1枚
1インチΦ〜6インチΦ 1枚
プロセス 現像液:1系統
リンス:1系統
(マイクロポンプによる脈動のない圧送ができます)
使用薬液 アルカリ系現像液、アルコール系溶剤
処理時間設定 最小:1秒
基盤回転数 0〜3000rpm 任意設定
スイングノズル移動量 プログラムによる振角任意設定
センタ固定もできます。
寸法・重量 本体部:550W×400D×440H(mm)
(カバー開閉時740Hmm)
約33kg
電源 AC100V 4A
真空 −50KPa.以下
局所排気 0.3m3(立方メートル)/分
 

icon.gif構 成 




 




チャンバー  ステンレス製チャンバー
回転機構  3段の耐溶剤軸シール処理
回転軸に吸着用真空ライン施工処理
薬剤圧送  マイクロポンプを現像液用とリンス液用と2基搭載(タンク圧送もできます)
薬液吐出  .好廛譟偲能
 フルコーン又はフラットコーンのステンレスノズル(又はセラミックノズル)
▲僖疋訶能弌淵好肇譟璽肇離坤襦‖臣淵好謄奪弉鹽昭亜0回転プログラム可能)
スイングノズル方式(スプレー吐出時)
 対象基盤の直径によりノズル振角設定。薬液の吐出を行いながらスイング動作をします。


シーケンス  ステップ数 : 24ステップ
プログラムモード : 10モード
インターロック  ●真空吸着確認センサー
●処理室カバーインターロック
●ノズル移動オーバーランリミッタ
 
 




〔液温度管理システム(加圧方式)
各種基盤ホルダー(吸着式、メカチャック式)
ミストトラップ
た振吸着用真空ポンプ
ダ瀉嵳兀邏搬
 

株式会社トービ TEL:0471-84-7255 or 080-4075-1975(高橋)
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