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 紫外線ドライ洗浄装置





 

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   写真の製品は実物とは異なる場合があります。

  装置名 : 紫外線ドライ洗浄装置
型  式 : UDM-08M
 
icon.gif特 徴
  ・特殊低圧水銀ランプ採用
・極細ランプによる短ピッチ
・均一照射、高照度を実現
・空冷方式によるシンプル構造
・簡単操作
・容易なランプ交換作業
・ローコスト
・ローランニングコスト
 
icon.gif仕 様
 
ワークサイズ 200×200×t40mmまで
UVランプ 低圧水銀ランプ
波長 185nm、254nm
ワークトレイ ステンレス製 フラット
ワーク位置合わせ なし(任意の位置)
照射時間 任意設定
冷却 空冷方式
寸法 330(W)×460(D)×240(H)mm
重量 15kg


icon.gifユーティリティ
電気 AC100V 50or60Hz 5A
排気 一般排気(Φ50短管)

icon.gif応用・用途
・シリコンウェハー、 ・GaAsウェハー、 ・サファイヤウェハー、
・LCDガラス基板、   ・マスクガラス、   ・BGA,CSP電極、
・サーマルヘッド、  ・レンズ、光学部品、・金属、
・ソーラーセル、   ・インクマーキング、・セラミック、
・プラスチック、    ・石英、       ・マイカ

※各種応用が簡単に対応できるように設計されています。
   



株式会社トービ TEL:0471-84-7255 or 080-4075-1975(高橋)
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