top-ja.jpg
menubar-ja01.jpgmenubar-ja02.jpgmenubar-ja03.jpgmenubar-ja04.jpgmenubar-ja05.jpgmenubar-ja06.jpgmenubar-ja07.jpgmenubar-ja08.jpg
   english.gifjapanese.gif

 真空陽極接合装置





  semi-vacuum-img.jpg
写真の製品は実物とは異なる場合があります。
  装置名 : 真空陽極接合装置
型  式 : HORIVAC300S
 
icon.gif概 要
     本装置は処理槽、真空排気系、ガス導入系、加熱部、ピン加重機構、DC電源及び電気制御系より構成されており、カーボン等の抵抗加熱形ヒーター治具にて所定の温度に加熱し、DC電源を印加することにより、Si-バイレックス接合等の作業を行うことができます。操作は、真空排気、ガス導入、ガスパージ、加熱及びDC電源の印加など各動作を手動にて行えます。
 
icon.gif仕 様
   
1)





2)




3)
内容
(1)処理物 : シリコン-パイレックスガラス(陽極接合)
(2)寸法  : Φ100(4吋ウエハー)
(3)処理量 : 4吋ウエハー 1セット/1パッチ
          (152mm幅 治具1組)

性能
(1)加熱温度 : Max.600℃(カーボン治具の場合)
(2)圧力範囲 : 10Pa〜101080Pa(ブランク時)
(3)到達圧力 : 10Pa Order

用力
(1)電源 :10KVA 200V 3Φ 60Hz or 50Hz
(2)導入ガス : 不活性ガス 1系統導入可
(3)冷却水 : 15L/min.以上
(4)圧縮空気 : 0.5MPa〜0.77MPa
※各種応用が簡単に対応できるように設計されています。
     

株式会社トービ TEL:0471-84-7255 or 080-4075-1975(高橋)
 〒270-1164 千葉県我孫子市つくし野4-6-1-102