洗浄システム/手動スピン洗浄装置


semi-cleaning2-img.jpg
写真の製品は実物とは異なる場合があります。
  装置名 : 手動スピン洗浄装置
型  式 : MSW-300T
 
icon.gif特 徴
    小型、コンパクトタイプの廉価版手動式スピン洗浄装置
 (写真の製品はMS洗浄モデル)
 
icon.gif仕 様
   
ワークサイズ Φ2インチ〜Φ6インチ
洗浄方式 スピン洗浄方式
スピンモーター ACサーボモーター 200W
ノズル 2ノズル標準装備(純水+ユーザー選択)
回転数範囲 50〜5000rpm
回転数設定 ボリューム
回転数精度 ±1rpm以内
加減速時間 内部固定
回転数表示 デジタル表示
オプション 高圧ジェットノズル、薬液ノズル等
CDA. 0.5MPa. 0.5ℓ/min以上
純水 0.2MPa. 1ℓ/min以上
電源 AC100v or200v 50/60Hz 12A  10%
※各種応用が簡単に対応できるように設計されています。
     
   
    

 多目的処理装置 / スピンプロセッサー


semi-multipurpose1-img.jpg
写真の製品は実物とは異なる場合があります。
  装置名 : スピンプロセッサー
型  式 : TMS-401
 
icon.gif特 徴
    2種類のボディー素材で酸、溶剤に対応している廉価装置(ご選定時ご相談ください 写真はPVCボディー)
エッチング、洗浄、現像、剥離、乾燥他に使用できる多目的装置
 
icon.gif仕 様
   
ワークサイズ Φ2インチ〜Φ8インチ
クリーンユニット HEPAフィルター(標準装備)
洗浄方式 スピン洗浄+ブラシ又はMS選択
スピンモーター DCモーター
回転数範囲 100〜2000rpm
回転数設定 ボリューム設定
回転表示 アナログ計
耐酸アルカリ仕様 耐酸、アルカリ用ボディ(PVC)使用
対溶剤仕様 IPA.アセトン等の各種溶剤対応ボディ(SUS)使用
オプション 高圧ジェットノズル、薬液用ノズル、及びフィルター各種対応ボディ、薬液循環、等
純水 RC3/8インチ
電源 AC100v or200v 10A 50/60Hz ±10%
排気 Φ50mm エンビパイプ 
   
※標準品から受注生産品まで様々な対応をいたします。


    

 洗浄システム / 自動スピン洗浄装置


semi-cleaning1-img.jpg写真の製品は実物とは異なる場合があります。   装置名 : 自動スピン洗浄装置
型  式 : TMSC-4000
  icon.gif特 徴
    オプション内容を選んで頂くクリーンユニット搭載のカセットto
カセット式自動装置(写真はスクラブ洗浄+UV洗浄+ホットプレート)
  icon.gif仕 様
   
ワークサイズ Φ2インチ〜Φ8インチ
搬 送 大気3軸クリーンロボット(標準)
クリーンユニット HEPAフィルター(標準)
ノズル ブラシ、MSどちらかを選択、DIWリンス標準
回転数範囲 50〜5000rpm
回転時間 0.1〜999.9sec
回転精度 ±1rpm
設定、表示 液晶タッチパネル
オプション 高圧ジェットノズル、UV,エキシマ、ホットプレート、各種薬液用フィルター、炭酸ガス、洗剤使用、溶剤使用、防爆仕様、ロボットチャック等
ユーティリティー 電源、圧空、窒素、純水、排気、排水、廃液、他
※標準品から受注生産品まで様々な対応をいたします。
 各種対応が容易に出来るよう設計されています。



    

 マルチプルスピンナー


semi-multiple-img.jpg



    恒温水槽内
 ・カールチューブ薬液温調
 ・現像液恒温管理用

 写真の製品は実物とは異なる場合があります。

  装置名 : マルチプルスピンナー
型  式 : TMSC-6000
 
icon.gif特 徴
     自動タイプの多目的処理装置でオプション内容を選んで頂くクリーンユニット搭載のカセット to カセット式自動装置(写真はコーター+デベロッパー+ホットプレート)
 
icon.gif仕 様
   
ワークサイズ Φ6インチ〜Φ12インチ
搬 送 大気3軸クリーンロボット
クリーンユニット ULPAフィルター
データセット表示 液晶タッチパネル
回転数   50〜5000rpm
回転時間 0.1〜999.9sec
加減速時間0.1〜99.9sec
回転精度 1rpm以内
ホットプレート
温度設定RT〜150℃(標準温度)
加熱時間設定0.1〜999.9sec
etc.
コーター 2ノズル標準装備、バックリンス
デベロッパー 薬液温調、ノズル洗浄機能、バックリンスつき
ホットプレート 3段乾燥+冷却
オプション スピンクリーナー、スピンコーター、スピンデベロッパー、スピンエッチャー、スピンリムーバー、スピンドライヤーの何れか又は一台で6役を行ないます。
高圧ジェットノズル、UV,エキシマ、ホットプレート、各種薬液用フィルター等
ユーティリティ 電源、圧空、窒素、純水、排気、廃液、他
※各種応用が簡単に対応できるように設計されています。


  

 紫外線ドライ洗浄装置


semi-ultraviolet-img.jpg

semi-ultraviolet-img2.jpg
   写真の製品は実物とは異なる場合があります。

  装置名 : 紫外線ドライ洗浄装置
型  式 : UDM-08M
 
icon.gif特 徴
  ・特殊低圧水銀ランプ採用
・極細ランプによる短ピッチ
・均一照射、高照度を実現
・空冷方式によるシンプル構造
・簡単操作
・容易なランプ交換作業
・ローコスト
・ローランニングコスト
 
icon.gif仕 様
 
ワークサイズ 200×200×t40mmまで
UVランプ 低圧水銀ランプ
波長 185nm、254nm
ワークトレイ ステンレス製 フラット
ワーク位置合わせ なし(任意の位置)
照射時間 任意設定
冷却 空冷方式
寸法 330(W)×460(D)×240(H)mm
重量 15kg


icon.gifユーティリティ
電気 AC100V 50or60Hz 5A
排気 一般排気(Φ50短管)

icon.gif応用・用途
・シリコンウェハー、 ・GaAsウェハー、 ・サファイヤウェハー、
・LCDガラス基板、   ・マスクガラス、   ・BGA,CSP電極、
・サーマルヘッド、  ・レンズ、光学部品、・金属、
・ソーラーセル、   ・インクマーキング、・セラミック、
・プラスチック、    ・石英、       ・マイカ

※各種応用が簡単に対応できるように設計されています。
   



株式会社トービ TEL:0471-84-7255 or 080-4075-1975(高橋)
 〒270-1164 千葉県我孫子市つくし野4-6-1-102