フォトリソ用小型現象装置


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写真の製品は実物とは異なる場合があります。
  装置名 : フォトリソ用小型現象装置
型  式 : AD-1200
 
icon.gif特 徴
    高性能・低価格・コンパクト卓上タイプ
ワークサイズΦ1"〜Φ6"
液晶タッチパネルにてプログラム入力簡単操作
薬液圧送ポンプ2系統を内蔵
   
     
     







icon.gif仕 様

処理枚数 150Φ又は100Sq基盤(最大)1枚
1インチΦ〜6インチΦ 1枚
プロセス 現像液:1系統
リンス:1系統
(マイクロポンプによる脈動のない圧送ができます)
使用薬液 アルカリ系現像液、アルコール系溶剤
処理時間設定 最小:1秒
基盤回転数 0〜3000rpm 任意設定
スイングノズル移動量 プログラムによる振角任意設定
センタ固定もできます。
寸法・重量 本体部:550W×400D×440H(mm)
(カバー開閉時740Hmm)
約33kg
電源 AC100V 4A
真空 -50KPa.以下
局所排気 0.3m3(立方メートル)/分


icon.gif構 成 





チャンバー  ステンレス製チャンバー
回転機構  3段の耐溶剤軸シール処理
回転軸に吸着用真空ライン施工処理
薬剤圧送  マイクロポンプを現像液用とリンス液用と2基搭載(タンク圧送もできます)
薬液吐出  .好廛譟偲能
 フルコーン又はフラットコーンのステンレスノズル(又はセラミックノズル)
▲僖疋訶能弌淵好肇譟璽肇離坤襦‖臣淵好謄奪弉鹽昭亜0回転プログラム可能)
スイングノズル方式(スプレー吐出時)
 対象基盤の直径によりノズル振角設定。薬液の吐出を行いながらスイング動作をします。


シーケンス  ステップ数 : 24ステップ
プログラムモード : 10モード
インターロック  ●真空吸着確認センサー
●処理室カバーインターロック
●ノズル移動オーバーランリミッタ





〔液温度管理システム(加圧方式)
各種基盤ホルダー(吸着式、メカチャック式)
ミストトラップ
た振吸着用真空ポンプ
ダ瀉嵳兀邏搬

 多目的処理装置 / スピンプロセッサー


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写真の製品は実物とは異なる場合があります。
  装置名 : スピンプロセッサー
型  式 : TMS-401
 
icon.gif特 徴
    2種類のボディー素材で酸、溶剤に対応している(ご選定時ご相談ください 写真はPVCボディー)
エッチング、洗浄、現像、剥離、乾燥他に使用できる多目的装置
 
icon.gif仕 様
   
ワークサイズ Φ2インチ〜Φ8インチ
クリーンユニット HEPAフィルター
洗 浄 ブラシ、MS標準装備
耐酸仕様 酸、アルカリタイプ
対溶剤仕様 IPA.アセトン等の各種溶剤
オプション
高圧ジェットノズル、薬液用ノズル、フィルター等
電源 AC100v or200v
その他  
※標準品から受注生産品まで様々な対応をいたします。
     








 多目的処理装置/スピンエッチャー


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写真の製品は実物とは異なる場合があります。
  装置名 : スピンエッチャー
型  式 : TMS-410E
 
icon.gif特 徴
     温度管理、廃液選択と様々な機能を付加可能(写真はテフロン+PVCボディー)
 
icon.gif仕 様
   
ワークサイズ Φ2インチ〜Φ8インチ
エッチング液 酸、アルカリタイプ
オプション 廃液選択2〜4液、薬液用ノズル、フィルター等
電源 AC100v or200v
CDA 0.5MPa.以上
DIW. 0.2MPa.以上
その他  
※標準品から受注生産品まで様々な対応をいたします。
     








 フォトリソ用小型エッチング装置


semi-etching-img.jpg
写真の製品は実物とは異なる場合があります。
  装置名 : フォトリソ用小型エッチング装置
型  式 : ED-1200
 
icon.gif特 徴
    高性能・低価格・コンパクト卓上タイプ
ワークサイズΦ1"〜Φ6"
液晶タッチパネルにてプログラム入力簡単操作
薬液圧送ポンプ2系統を内蔵
 
   
     


icon.gif仕 様

処理枚数 150Φ又は100Sq基盤(最大)1枚
1インチΦ〜6インチΦ 1枚
プロセス 現像液:1系統
リンス:1系統
(マイクロポンプによる脈動のない圧送ができます)
使用薬液 酸系エッチング液
処理時間設定 最小:1秒
基盤回転数 0〜3000rpm 任意設定
スイングノズル移動量 プログラムによる振角任意設定
センタ固定もできます。
寸法・重量 本体部:550W×400D×440H(mm)
(カバー開閉時740Hmm)
約33kg
電源 AC100V 4A
真空 -50KPa.以下
局所排気 0.3m3(立方メートル)/分


icon.gif構 成 





チャンバー  オール塩化ビニール樹脂製チャンバー(PVC)
回転機構  3段の耐溶剤軸シール処理
回転軸に吸着用真空ライン施工処理
薬剤圧送  マイクロポンプをエッチング液用とリンス(純水)用と2基搭載(タンク圧送もできます)
薬液吐出  .好廛譟偲能
 フラットコーン扇形ノズル使用
スイングノズル方式(スプレー吐出時)
 対象基盤の直径によりノズル角設定。薬液の吐出を行いながらスイング動作をします。


シーケンス  ステップ数 : 24ステップ
プログラムモード : 10モード
インターロック  ●真空吸着確認センサー
●処理室カバーインターロック
●ノズル移動オーバーランリミッタ





〔液温度管理システム(加圧方式)
各種基盤ホルダー(吸着式、メカチャック式)
ミストトラップ
た振吸着用真空ポンプ
ダ瀉嵳兀邏搬



 マルチプルスピンナー


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   恒温水槽内
 ・カールチューブ薬液温調
 ・現像液恒温管理用 

写真の製品は実物とは異なる場合があります。

  装置名 : マルチプルスピンナー
型  式 : TMSC-6000
 
icon.gif特 徴
     自動タイプの多目的処理装置でオプション内容を選んで頂くクリーンユニット搭載のカセット to カセット式自動装置(写真はコーター+デベロッパー+ホットプレート)
 
icon.gif仕 様
   
ワークサイズ Φ6インチ〜Φ12インチ
搬 送 大気3軸クリーンロボット
クリーンユニット ULPAフィルター
データセット表示 液晶タッチパネル
コーター 2ノズル標準装備、バックリンス
デベロッパー 薬液温調、ノズル洗浄機能、バックリンスつき
ホットプレート 3段乾燥+クーリング
オプション スピンクリーナー、スピンコーター、スピンデベロッパー、スピンエッチャー、スピンリムーバー、スピンドライヤーの何れか又は一台で6役を行ないます。
高圧ジェットノズル、UV,エキシマ、ホットプレート、フィルター等
ユーティリティ 電源、圧空、窒素、純水、排気、廃液、他
※各種応用が簡単に対応できるように設計されています。
     






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