マスクアライナー(EMA-400)/マスクアライナー


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装置名 : マスクアライナー
型  式 : EMA-400
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icon.gif標 準 仕 様

マスクサイズ □5インチ
ウエハサイズ φ4インチ
露光照明 250W超高圧水銀灯
光学方式    インテグレータレンズ方式
照度ムラ    ±5%以下
照度      20mW/cm2(405nm)
有効露光範囲  φ100mm
露光量コントロール : デジタルタイマによるロータリーソレノイド駆動
露光モード ソフトコンタクト(オプション:ハードコンタクト)
解像度 3μm(ハードコンタクト:2μm)
アライメントスコープ 双対物顕微鏡
10倍対物レンズ 2個(N.A.=0.15,W.D.=30mm)
対物間隔    15〜75mm
総合倍率    100倍
ウェハステージ XYステージストローク ±5mm
回転ストローク  ±5°
Z軸ストローク 0〜4mm 
アライメント方式 ウェハステージ移動によるマニュアルアライメント
アライメント精度 ±3μm
設置サイズ 735(W)×490(D)×605(H)
設置重量 約90kg
ユーティリティ 電源 AC100V/15A 50/60Hz
真空(圧力) 21.3kPa(大気より80kPa) 


 マスクアライナー(PEM-800/6M)


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  装置名 : マスクアライナー
型  式 : PEM-800/6M
     
     
     







icon.gif標 準 仕 様

  PEM-800 PEM-6M
フォトマスクサイズ(MAX) □5インチ □7インチ
ウェハサイズ 不定形〜φ4インチ 不定形〜φ6インチ
マスクホルダー移動方式 マニュアルスライド方式 マニュアルスライド方式
マスク移動 X=±3mm Y=±3mm X=±3mm Y=±3mm
露光装置  250W超高圧水銀灯  500W超高圧水銀灯 
照明ムラ ±5% 照明ムラ ±5%
有効露光範囲:φ100mm 有効露光範囲:150mm
アライメントスコープ 1.対物レンズ:10x、上下対面、計4ヶ
2.接岸レンズ:NWF10x2ヶ
3.総合倍率:100x
4.対物レンズの間隔
  15mm〜90mm
4.対物レンズの間隔
  80mm〜140mm
5.観察視野 : スプリットフィールド方式
6.スコープ  : マニュアルにより回転し退避
           Y方向移動 : 80mm
7.焦準装置 : 
1)対面(上/下)対物レンズそれぞれを光軸に沿って微動ハンドルの回転によって上下動します。
2)左右対物同焦点調整用ハンドル付
7.焦準装置 : 
1)対面(上/下)対物レンズをそれぞれに有し、対物レンズを
光軸に沿って上側は微動ハンドル、下軸は微動モータの回転
によって上下動します。
2)左右対物同焦点調整用ハンドル付
アライメント精度 5μm以下
露光方式 プロキシミティ、コンタクト両方式可能
解像度 3μm L/S
焼き付けモード モード1〜2までの2種類の方式があり、
下記の焼き付け方式が選択できる。
1.モード1 標準焼付け方式であり、ウェハはその都度イコライジングされ焼付けを行う。
2.モード2 最初の1枚のウェハにてイコライジングされ焼き付け実行後2枚目以降は
        プリントギャップを一定に設定したままイコライジング工程を省略して焼き付けを行う。 
設備サイズ 装置本体:
750W×820D×1700Hmm
装置本体:
940W×860D×1670mm
装置重量 450kg 550kg
必要設備 1.電源・本体用
  AC100V50/60Hz600W
2.水銀灯装置用
  AC100V50/60Hz550W
3.N2ガス 0.4〜0.5MPa
4.真空圧
  21.3KPa
  (大気より-80KPa)以下
1.電源・本体用
  AC100V50/60Hz15A(600W)
2.水銀灯装置用
  AC100V50/60Hz15A(1100W)
3.N2ガス 0.4〜0.5MPa
4.真空圧
  21.3KPa
  (大気より-80KPa)以下
標準構成 1.アライメントスコープ(双対物、対面式顕微鏡)
2.マスク保持部
3.ウェハユニット
4.制御装置
5.露光用光源装置
6.電源装置
7.専用デスク
8.付属予備品
オプション 1.WF 15×OB
2.9インチTVモニタ装置

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