マニュアルスピンナー / 卓上式マニュアルスピンナー


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写真の製品は実物とは異なる場合があります。
  装置名 : マニュアルスピンナー
型  式 : MSS−300T
 
icon.gif特 徴
    シンプルデザイン、コストパフォーマンス
 
icon.gif仕 様
   
試料サイズ
カップ径
回転範囲
回転精度
スピンドルモーター
回転表示
回転数設定
レシピ設定
オプション
ユーティリティー
Φ2インチ 〜 Φ6インチ
Φ300mm
100〜5000rpm
±1rpm
ACサーボモーター
デジタル
液晶タッチパネル
10プログラム×50パターン
試料台、真空ポンプ
電源、真空
※各種応用が簡単に対応できるように設計されています。
     

 マニュアルスピンナー / マニュアルスピンコーター


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写真の製品は実物とは異なる場合があります。
  装置名 : マニュアルスピンコーター
型  式 : MSC-300T
 
icon.gif特 徴
     シンプルデザイン,コストパフォーマンス,
 
icon.gif仕 様
   
試料サイズ
カップ径
回転範囲
回転精度
スピンドルモーター
回転表示
回転数設定
薬液ノズル
レシピ設定
オプション

ユーティリティー
Φ2 インチ〜Φ6インチ
Φ300mm
100-5000 rpm
±1rpm
AC サーボモーター
デジタル
液晶タッチパネル
2系統(エアーシリンダー駆動式)
10プログラム ×50 パターン
試料台、真空ポンプ、加圧タンク、
フィルター等
電源、真空、ドライエアー
※各種応用が簡単に対応できるように設計されています。
   

    

 自動スピンコーター


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写真の製品は実物とは異なる場合があります。
  装置名 : 自動スピンコーター
型  式 : TASC-3000
 
 icon.gif特 徴
     シンプルデザイン,コストパフォーマンス、少量生産用

 

icon.gif仕 様
   
試料サイズ Φ2,3,4インチ
試料固定 真空吸着
カップ径 Φ300mm
回転範囲 100-5000 rpm
回転精度 ±1rpm
回転数設定 液晶タッチパネル
レシピメモリー 10プログラム ×10 パターン
スピンドルモーター AC サーボモーター
回転表示 デジタル表示
電源  AC100V 7A 
ユーティリティー 電源、CDA.、N2、真空 
外形寸法  460W×590D×440H 
オプション 試料台、真空ポンプ、レジスト用フィルター

   
割れ易い化合物半導体や、小ロット生産に適する段取り替えが簡単に設定でき、ユーザーの希望に合わせてカスタムメイドが行なえます。
      
   
        

 マルチプルスピンナー


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    恒温水槽内
 ・カールチューブ薬液温調
 ・現像液恒温管理用

 写真の製品は実物とは異なる場合があります。

  装置名 : マルチプルスピンナー
型  式 : TMSC-6000
 
icon.gif特 徴
     自動タイプの多目的処理装置でオプション内容を選んで頂くクリーンユニット搭載のカセット to カセット式自動装置(写真はコーター+デベロッパー+ホットプレート)
 
icon.gif仕 様
   
ワークサイズ Φ6インチ〜Φ12インチ
搬 送 大気3軸クリーンロボット
クリーンユニット ULPAフィルター
データセット表示 液晶タッチパネル
回転数   50〜5000rpm
回転時間 0.1〜999.9sec
加減速時間0.1〜99.9sec
回転精度 1rpm以内
ホットプレート
温度設定RT〜150℃(標準温度)
加熱時間設定0.1〜999.9sec
etc.
コーター 2ノズル標準装備、バックリンス
デベロッパー 薬液温調、ノズル洗浄機能、バックリンスつき
ホットプレート 3段乾燥+冷却
オプション スピンクリーナー、スピンコーター、スピンデベロッパー、スピンエッチャー、スピンリムーバー、スピンドライヤーの何れか又は一台で6役を行ないます。
高圧ジェットノズル、UV,エキシマ、ホットプレート、各種薬液用フィルター等
ユーティリティ 電源、圧空、窒素、純水、排気、廃液、他
※各種応用が簡単に対応できるように設計されています。

         

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