スピンドライヤー


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写真の製品は実物とは異なる場合があります。
  装置名 : スピンドライヤー
型  式 : SPD-8262
 
icon.gif特 徴
    小型コンパクト設計、乾燥能力が高い
 
icon.gif仕 様
   
試料サイズ Φ6インチ、φ8インチ 2又は4カセット 
チャンバー口径/材質 Φ800mm SUS304
本体材質/
本体寸法
SS+焼付塗装  W900×D1185×H1170
スピンモーター インダクションモーター+インバーター
回転数 0〜1,000rpm、任意設定、オプション 1,200rpm
回転表示 デジタル式
回転ステップ数 2 ステップ
供給電源 AC200V Φ3 15A 50/60Hz ±10%
ドライエアー 0.5MPa. 5L/min以上  RC1/4“
排気 Φ150mmダクト、自動ダンパー 8m3/min以上
廃水 12A pvc 、8L/min
※標準品から受注生産品まで様々な対応をいたします。
     





         

 多目的処理装置 / スピンプロセッサー


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写真の製品は実物とは異なる場合があります。
  装置名 : スピンプロセッサー
型  式 : TMS-401
 
icon.gif特 徴
    2種類のボディー素材で酸、溶剤に対応している廉価装置(ご選定時ご相談ください 写真はPVCボディー)
エッチング、洗浄、現像、剥離、乾燥他に使用できる多目的装置
 
icon.gif仕 様
   
ワークサイズ Φ2インチ〜Φ8インチ
クリーンユニット HEPAフィルター(標準装備)
洗浄方式 スピン洗浄+ブラシ又はMS選択
スピンモーター DCモーター
回転数範囲 100〜2000rpm
回転数設定 ボリューム設定
回転表示 アナログ計
耐酸アルカリ仕様 耐酸、アルカリ用ボディ(PVC)使用
対溶剤仕様 IPA.アセトン等の各種溶剤対応ボディ(SUS)使用
オプション 高圧ジェットノズル、薬液用ノズル、及びフィルター各種対応ボディ、薬液循環、等
純水 RC3/8インチ
電源 AC100v or200v 10A 50/60Hz ±10%
排気 Φ50mm エンビパイプ 
   
※標準品から受注生産品まで様々な対応をいたします。

     
         

 マルチプルスピンナー


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    恒温水槽内
 ・カールチューブ薬液温調
 ・現像液恒温管理用

 写真の製品は実物とは異なる場合があります。

  装置名 : マルチプルスピンナー
型  式 : TMSC-6000
 
icon.gif特 徴
     自動タイプの多目的処理装置でオプション内容を選んで頂くクリーンユニット搭載のカセット to カセット式自動装置(写真はコーター+デベロッパー+ホットプレート)
 
icon.gif仕 様
   
ワークサイズ Φ6インチ〜Φ12インチ
搬 送 大気3軸クリーンロボット
クリーンユニット ULPAフィルター
データセット表示 液晶タッチパネル
回転数   50〜5000rpm
回転時間 0.1〜999.9sec
加減速時間0.1〜99.9sec
回転精度 1rpm以内
ホットプレート
温度設定RT〜150℃(標準温度)
加熱時間設定0.1〜999.9sec
etc.
コーター 2ノズル標準装備、バックリンス
デベロッパー 薬液温調、ノズル洗浄機能、バックリンスつき
ホットプレート 3段乾燥+冷却
オプション スピンクリーナー、スピンコーター、スピンデベロッパー、スピンエッチャー、スピンリムーバー、スピンドライヤーの何れか又は一台で6役を行ないます。
高圧ジェットノズル、UV,エキシマ、ホットプレート、各種薬液用フィルター等
ユーティリティ 電源、圧空、窒素、純水、排気、廃液、他
※各種応用が簡単に対応できるように設計されています。

株式会社トービ TEL:0471-84-7255 or 080-4075-1975(高橋)
 〒270-1164 千葉県我孫子市つくし野4-6-1-102